廠商技術(shù)優(yōu)化,降本提產(chǎn)新動作
發(fā)布時間:2022-06-09 15:22
來源:螢光創(chuàng)新

CCS 3x2 MOCVD系統(tǒng)
本次CCS 3x2 MOCVD系統(tǒng)具有3x2 英寸晶圓的容量,最高工作溫度為 1400°C,由德國沉積設(shè)備制造商Aixtron SE子公司Aixtron Ltd 從其用于化合物半導(dǎo)體材料的緊密耦合噴頭金屬有機化學(xué)氣相沉積 (CCS MOCVD) 產(chǎn)品系列向博伊西州立大學(xué)提供。
CCS 3x2 系統(tǒng)包括新型結(jié)構(gòu)——能夠在藍寶石上沉積石墨烯和六方氮化硼 (hBN)作為氮化鎵 (GaN) 基紫外發(fā)光二極管 (UV LED)。還有 Aixtron 專有的 ARGUS 和 EPISON 原位計量技術(shù),是目前唯一可以配置用于組合 2D 和 GaN 研究的系統(tǒng)技術(shù),同時還允許異質(zhì)結(jié)構(gòu)的生長。

4個反應(yīng)腔的ProMaxy® UV 的機型
針對深紫外 LED外延生長 AlN(鋁氮)的材料晶體質(zhì)量,表面形貌特征,及裂紋控制,對提高功率轉(zhuǎn)化效率和良品率具有重大的影響,在這個基礎(chǔ)上中晟光電在技術(shù)方面做了進一步提升,建立了外延生產(chǎn)高質(zhì)量的 AlN 基板,可以將2英寸片產(chǎn)能提高到15片的MOCVD核心技術(shù)。
日晟光電隨后推出了4 個反應(yīng)腔的ProMaxy® UV的機型,進一步達成降本提產(chǎn)。既可每腔獨立外延生產(chǎn)深紫外 LED 全結(jié)構(gòu),也能分腔集成外延生產(chǎn) AlN 基板和 LED 結(jié)構(gòu)。其表面特征 Rq<0.5nm,邊緣裂紋控制在<2mm的高質(zhì)量、低成本的 AlN 基板,已經(jīng)成了眾多客戶深紫外LED首選。

青島螢光創(chuàng)新科技有限公司,擁有專業(yè)的博士后團隊,專注于紫外殺菌應(yīng)用的研究,經(jīng)過多年深耕紫外行業(yè),公司獲得多項國家發(fā)明和實用新型專利。目前多款殺菌模組類產(chǎn)品已經(jīng)投入市場。更多詳細內(nèi)容可以瀏覽公司網(wǎng)站www.xiqiangdiesong.com聯(lián)系公司索取或者關(guān)注微信公眾號。

文章關(guān)鍵字:220nm、230nm、235nm、240nm、245nm、250nm、255nm、260nm、265nm、270nm、275nm、280nm、285nm、290nm、295nm、300nm、305nm、310nm、315nm、320nm、330nm、340nm、365nm、395nm、405nm、TO39、UVWORKS、UVWORKS、UVCWORKS、UVC EORKS、UV LED、UVA LED、UVB LED、UVC LED、紫外LED、深紫外 LED、紫外殺菌、紫外消毒、紫外殺菌消毒、紫外消毒方案、殺菌模塊、凈水機殺菌、末端殺菌 殺菌龍頭、靜態(tài)水殺菌組件、流動水殺菌組件、紫外殺菌凈水機、殺菌龍頭、牙刷殺菌、水杯殺菌、表面殺菌、水殺菌、空氣殺菌、光治療